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分子束外延（MBE）

??此圖是我公司為中科院半導(dǎo)體所材料科學(xué)實(shí)驗(yàn)室從美國(guó)引進(jìn)MODULAR GEN II 型分子束外延設(shè)備,用于開(kāi)展“納米半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)材料和量子器件的基礎(chǔ)研究和應(yīng)用開(kāi)發(fā)”。目前,該設(shè)備承擔(dān)有國(guó)家和中國(guó)科學(xué)院創(chuàng)新工程多項(xiàng)科研任務(wù)。主要開(kāi)展應(yīng)變自組裝量子點(diǎn)、量子線(xiàn)、量子阱等納米結(jié)構(gòu)材料及相關(guān)器件的研究和應(yīng)用開(kāi)發(fā)。該MBE設(shè)備使材料制備技術(shù)有了一個(gè)很大的提升,使材料生長(zhǎng)在均勻性、穩(wěn)定性、小批量生產(chǎn)等方面得到有效的保障。